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  • pluneox 3d共聚焦轮廓仪 光学轮廓测量系统(共聚焦+白光干涉):使用sensofar专有技术开发的Neox光学轮廓仪,集成了共聚焦计数和干涉测量技术,并具有薄膜测量能力,该系统可以用于标准的明场彩色显微成像,共焦成像,三维共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。 相关技术文档下载

    涉及产业领域:

                  

    集成电路封装产业                   能源产业

                      

    材料                               半导体产业 

     

                    

    发光二极管                           光学产业

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